专利详细信息
干式螺杆真空泵
文献类型：专利
专利类型：外观设计
是否失效：否
是否授权：否
申 请 号：CN202430759507.X
申 请 日：20241129
申 请 人：上海斯可络压缩机有限公司
申请人地址：201540 上海市金山区松隐镇亭枫公路1555号
公 开 日：20250812
公 开 号：CN309436101S
代 理 人：季辰玲
代理机构：上海启真专利代理有限公司 31569
语 种：中文
摘 要：1.本外观设计产品的名称：干式螺杆真空泵。2.本外观设计产品的用途：用于半导体工业中的化学气相沉积制程。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
IPC专利分类号：15-02
参考文献：
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二级参考文献：
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耦合文献：
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引证文献：
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二级引证文献：
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同被引文献：
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