文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200520094779.4

申 请 日：20051216

发 明 人：孙仁涛 王晓雯 李绍恒

申 请 人：沈阳汇博思宾尼斯传感技术有限公司

申请人地址：110043 辽宁省沈阳市大东区北海街242号

公 开 日：20070321

公 开 号：CN2881967Y

代 理 人：崔红梅

代理机构：21101 沈阳科威专利代理有限责任公司

语　　种：中文

摘　　要：薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻，总电阻值为500～800KΩ，在两个薄膜磁敏电阻中间，引出在旋转磁场下有正弦波形输出的电压信号输出端。利用薄膜制造技术、微机械加工技术和半导体平面工艺制造的一种高灵敏度、低功耗的磁阻传感元件，用于测量物体的旋转速度、旋转角度以及位置等，目前主要应用领域为流量计、电子水表、电子煤气表、热量计、位移检测、转速检测等。在用电池长期供电的低功耗仪表中，其低功耗性能具有不可比拟的应用价值。

主 权 项：1、薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：在与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻，总电阻值为500～800KΩ，在两个薄膜磁敏电阻中间，引出在旋转磁场下有正弦波形输出的电压信号输出端。

关 键 词：低功耗 薄膜  半导体平面工艺  微机械加工技术  磁敏电阻 磁性薄膜  磁阻 旋转  流量计  芯片  薄膜制造技术  磁阻传感器  电子煤气表  测量物体  传感元件  等效电路  电压信号  电子水表 高灵敏度  技术加工  位移检测  旋转角度  应用价值  正弦波形  直流电源  转速检测  电阻值  热量计 输出端  串连  磁场  电路  仪表  电池  供电  

IPC专利分类号：H01L43/08(20060101);G01R33/09(20060101);G01D5/16(20060101)