文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202122329116.8

申 请 日：20210924

发 明 人：汪勋 于伟华 冷箫宇 朱超

申 请 人：江苏协鑫特种材料科技有限公司

申请人地址：221001 江苏省徐州市金山桥开发区杨山路66号

公 开 日：20220125

公 开 号：CN215628287U

代 理 人：徐芝强;肖明芳

代理机构：32237 江苏圣典律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种沉积炉底盘旋转装置，包括炉底盘、炉内转动盘、支撑筒、中心喷嘴；所述的炉内转动盘活动的设置在炉底盘的上方，通过转动盘驱动件能够在炉底盘上转动；所述的支撑筒上下开口，底部固定在炉内转动盘上，顶部用于放置待沉积的石墨筒，支撑筒跟随炉内转动盘一同转动，从而带动顶部的石墨筒转动；所述的中心喷嘴固定在炉底盘上部，并穿过炉内转动盘延伸至支撑筒内，用于将沉积原料向上均匀喷洒至上的石墨筒内壁。

主 权 项：1.一种沉积炉底盘旋转装置，其特征在于，包括炉底盘(1)、炉内转动盘(2)、支撑筒(3)、中心喷嘴(10)；所述的炉内转动盘(2)活动的设置在炉底盘(1)的上方，通过转动盘驱动件能够在炉底盘(1)上转动；所述的支撑筒(3)上下开口，底部固定在炉内转动盘(2)上，顶部用于放置待沉积的石墨筒(12)，支撑筒(3)跟随炉内转动盘(2)一同转动，从而带动顶部的石墨筒(12)转动；所述的中心喷嘴(10)固定在炉底盘(1)上部，并穿过炉内转动盘(2)延伸至支撑筒(3)内，用于将沉积原料向上均匀喷洒至上的石墨筒(12)内壁。

关 键 词：转动盘  炉内 炉底盘  支撑筒  石墨筒  转动  中心喷嘴  沉积  底盘旋转装置  本实用新型  均匀喷洒  上下开口  沉积炉  驱动件  内壁 穿过  延伸  

IPC专利分类号：C23C16/458(20060101);C23C16/32(20060101)