专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:实用新型
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN202021832022.1
申 请 日:20200827
申 请 人:北京天瑞星光热技术有限公司
申请人地址:100089 北京市海淀区知春路61号院科研楼916室
公 开 日:20210622
公 开 号:CN213507171U
代 理 人:郑越
代理机构:11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
语 种:中文
摘 要:本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种镀膜装置,包括:密封壳体,具有进料结构和出料结构,所述进料结构和出料结构分别与设于所述密封壳体中的承载结构的进料口和出料口对应设置;镀膜结构,朝向所述承载结构设置,以对所述承载结构上的物料进行镀膜;进料结构和出料结构,分别通过开闭结构与所述密封壳体内部通断连接。本实用新型提供了一种镀膜连续,生产效率高的镀膜装置。
主 权 项:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:密封壳体(1),具有进料结构(6)和出料结构(7),所述进料结构(6)和出料结构(7)分别与设于所述密封壳体(1)中的承载结构(2)的进料口和出料口对应设置;镀膜结构(3),朝向所述承载结构(2)设置,以对所述承载结构(2)上的物料进行镀膜;进料结构(6)和出料结构(7),分别通过开闭结构(10)与所述密封壳体(1)内部通断连接。
关 键 词:承载结构 出料结构 进料结构 本实用新型 镀膜装置 密封壳体 镀膜 密封壳体内部 真空镀膜技术 镀膜结构 开闭结构 生产效率 出料口 进料口 通断
IPC专利分类号:C23C14/35(20060101);C23C14/56(20060101)
参考文献:
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二级参考文献:
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耦合文献:
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引证文献:
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二级引证文献:
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同被引文献:
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