专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:实用新型
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201920356881.9
申 请 日:20190320
申 请 人:内蒙古中环光伏材料有限公司
申请人地址:010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
公 开 日:20191203
公 开 号:CN209729868U
代 理 人:栾志超
代理机构:12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
语 种:中文
摘 要:本实用新型提供一种传送硅片水道线用阻挡截停机构,水道线包括主输送线和回流线,主输送线与回流线并列设置,阻挡截停机构包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构,多个主输送线阻挡截停结构均设于主输送线上,多个回流线阻挡截停结构均设于回流线上。本实用新型的有益效果是结构简单,安装拆卸方便,对主输送线上的满载的载具进行阻挡截停,便于机械手对满载的载具进行夹取,提高了该水道线的自动化程度,降低了劳动强度,提高了工作效率。
主 权 项:1.一种传送硅片水道线用阻挡截停机构,其特征在于:所述水道线包括主输送线和回流线,所述主输送线与所述回流线并列设置,所述阻挡截停机构包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构,多个所述主输送线阻挡截停结构均设于所述主输送线上,多个所述回流线阻挡截停结构均设于所述回流线上。
关 键 词:主输送线 回流线 阻挡 水道线 本实用新型 载具 满载 并列设置 拆卸方便 工作效率 机械手 硅片 夹取 自动化 传送
IPC专利分类号:H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101)
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...