文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201820860325.0

申 请 日：20180605

发 明 人：戴杨 杨波 毛遂 刘安

申 请 人：英特尔产品(成都)有限公司 英特尔公司

申请人地址：611731 四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号

公 开 日：20190122

公 开 号：CN208419909U

代 理 人：钟胜光

代理机构：11376 北京永新同创知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开了一种圆度检测装置，本实用新型属于半导体晶圆加工领域，包括带有显示屏的放大镜，放大镜的镜头下设置有旋转检测盘，所述旋转检测盘的旋转平面透明，且在旋转检测盘的旋转径向上设置有透明刻度板，透明刻度板上设置有至少两个位置可调的光源，所述刻度板随旋转检测盘的旋转而转动，提供一种能够简单、快捷且准确地检测激光点圆度的工具。

主 权 项：1.一种圆度检测装置，其特征在于包括：放大镜，其中放大镜的镜头下设置有旋转检测盘(1)，所述旋转检测盘(1)的旋转平面透明，且在旋转检测盘(1)的旋转径向上设置有一个透明刻度板(2)，所述透明刻度板通过连接机构与旋转检测盘(1)相连接，并且可以随着所述旋转检测盘的转动而相应转动。

关 键 词：旋转检测  本实用新型  透明刻度板  放大镜 圆度检测装置  半导体晶圆  检测激光  位置可调  向上设置  旋转平面  点圆度  刻度板  光源 显示屏  转动  镜头 透明  加工  

IPC专利分类号：G01B11/24(20060101);G01B5/20(20060101)