文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201621037771.9

申 请 日：20160905

发 明 人：于伟华 田新 张春伟 江扣龙 王彬

申 请 人：江苏协鑫特种材料科技有限公司 江苏鑫华半导体材料科技有限公司

申请人地址：221000 江苏省徐州市鼓楼区经济技术开发区杨山路66号

公 开 日：20170315

公 开 号：CN206015085U

代 理 人：肖明芳

代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型提供了一种化学气相沉积反应器，包括反应器壳体和反应器壳体内部的内胆，所述内胆和壳体之间设有加热装置，反应器壳体的底部为底盘，底盘上设有支架，支架上设有托架，反应器壳体的底部设有进气装置，反应器壳体的顶部设有排气装置。所述加热装置和反应器壳体之间设有隔热部件。所述底盘中部设有转动盘，转动盘上端连接到支架，转动盘下端连接转动部件。所述进气装置包括设置在底盘上的反应气体进口和稀释气体进口。

主 权 项：1.一种化学气相沉积反应器，其特征在于，包括反应器壳体(5)和反应器壳体(5)内部的内胆(12)，所述内胆和反应器壳体(5)之间设有加热装置(7)，反应器壳体(5)的底部为底盘(3)，底盘(3)上设有支架(10)，支架(10)上设有托架(11)，反应器壳体(5)的底部设有进气装置，反应器壳体(5)的顶部设有排气装置。

关 键 词：反应器壳体  转动盘  底盘 支架  加热装置  进气装置  内胆 化学气相沉积反应器  反应气体进口  稀释气体进口  本实用新型  底盘中部  反应器壳  隔热部件  排气装置 转动部件  体内部  上端  壳体 托架  下端  

IPC专利分类号：C23C16/32(20060101);C23C16/458(20060101)