专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:实用新型
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201320172598.3
申 请 日:20130408
申 请 人:上海昀丰光电技术有限公司
申请人地址:上海市浦东新区张江高科技产业东区胜利路836号7幢甲
公 开 日:20131002
公 开 号:CN203222630U
代 理 人:魏晓波
代理机构:11227 北京集佳知识产权代理有限公司
语 种:中文
摘 要:本实用新型涉及一种蓝宝石炉用称重结构,包括底部穿设有籽晶杆顶部穿设有输入轴的籽晶腔、设置于籽晶腔的内部且中部具有通孔的称重仪固定座、设置于称重仪固定座上的至少三个称重仪,称重仪中至少包括一个量程不大于10Kg的小量程高精度称重仪、设置于称重仪顶部支撑头上的承重板组件,承重板组件包括承重板和旋转轴构件,旋转轴构件中包括支撑套和设置在支撑套中的旋转轴,旋转轴的上端与输入轴固定相连,下端与籽晶杆固定相连,承重板与支撑头接触的部位设置有与支撑头一一对应的定位槽。该称重结构可以在引晶阶段以及晶体生长的中后期阶段测量到更为准确的晶体重量数据,从而为人工引晶或者设备自动引晶提供更为精确的数据。
主 权 项:1.一种蓝宝石炉用称重结构,其特征在于,包括:设置于水冷腔体(1)上部的籽晶腔(10),所述籽晶腔(10)底部穿设有可上下浮动的籽晶杆(22),顶部穿设有输入轴(13),且所述籽晶腔(10)内设置有位于所述籽晶杆(22)端部和输入轴(13)端部之间的称重仪固定座(6),所述称重仪固定座(6)中部设置有通孔;设置于所述称重仪固定座(6)上的至少三个称重仪,所述称重仪均匀分布在同一半径的圆周上,所述称重仪中至少包括一个量程不大于10Kg的小量程高精度称重仪;设置于所述称重仪顶部的支撑头(16)上的承重板组件,所述承重板组件包括水平放置在所述支撑头上的承重板(9)和固定设置于承重板(9)中部的旋转轴构件,所述旋转轴构件包括支撑套(15)和通过轴承设置于所述支撑套(15)中并穿过所述通孔的旋转轴(20),所述旋转轴(20)的上端与输入轴(13)相连,下端与籽晶杆(22)固定相连,所述承重板(6)与所述支撑头(16)接触的部位设置有与所述支撑头(16)一一对应的定位槽。
关 键 词:称重仪 承重板 旋转轴 固定座 输入轴 支撑套 籽晶杆 称重 籽晶 顶部 支撑 晶体生长 晶体重量 人工引晶 蓝宝石 定位槽 高精度 上端 固定 量程 通孔 下端 底部 大于 中部 接触 内部
IPC专利分类号:C30B15/28(20060101);C30B29/20(20060101)
参考文献:
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引证文献:
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二级引证文献:
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同被引文献:
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