文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201220019507.8

申 请 日：20120116

发 明 人：陆惠宗

申 请 人：无锡迈福光学科技有限公司

申请人地址：214200 江苏省无锡市宜兴市宜兴经济开发区锦程大道11号宜兴创业园

公 开 日：20120926

公 开 号：CN202453298U

代 理 人：解文霞

代理机构：31242 上海金盛协力知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型揭示了一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置，所述装置包括：激光器、第一分光镜、光强探测器、扩束装置、第一调整镜、第二调整镜、第二分光镜、振镜、扫描镜、积分球、散射光电探测器、第三分光镜、衰减片、反射光电探测器、透镜、光电位移探测器、接线盒、信号采集卡、被测表面移动执行机构、控制分析系统。本实用新型提出的基于激光散射的表面微缺陷检测装置，采用远心扫描镜来完成一个方向对表面的扫描，通过在另一个与激光扫描方向垂直的方向移动被测面，来完成对整个被测面的扫描。本实用新型可有效检测表面划痕、缺陷、脱膜等，代替目前的人工检测，检测速度快。

主 权 项：1.一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置，其特征在于，所述装置包括：激光器，用以发出激光束；扩束装置，用以将从激光器发出的激光束扩束，扩束后的激光束作为激光散射扫描的光源；第一调整镜、第二调整镜，用以将扩束装置扩束后的激光束调整，使其经第二分光镜透射后进入振镜；振镜，用以将经过第二分光镜透射的激光束沿一个方向快速扫描；扫描镜，用以在被测表面形成一个汇聚光点；积分球，设置于扫描镜与被测表面之间，积分球为中空结构，靠近扫描镜的一端设有第一开口，积分球靠近被测表面的一端设有第二开口；散射光电探测器，设置于所述积分球内，用以收集被测表面漫散射光的强度参数；第二分光镜，用以将从被测表面反射的激光束输入至第三分光镜；第三分光镜，用以将第二分光镜发出的反射光分为两束，一束输入至一反射光电探测器，另一束输入至一光电位移探测器；反射光电探测器，用以收集从被测表面反射后经所述第二分光镜、第三分光镜分光的反射光，并记录反射光强度参数；衰减片，设置于第三分光镜与反射光电探测器之间；光电位移探测器，用以收集从被测表面反射后经所述第二分光镜、第三分光镜分光的反射光，并记录位移变化参数；透镜，设置于第三分光镜与光电位移探测器之间；被测表面移动执行机构，用以执行被测表面的移动动作；控制分析系统，用以接收散射光电探测器、反射光电探测器、光电位移探测器的探测信息，并以此得到分析结果；所述控制分析系统还用以控制所述被测表面移动执行机构。

关 键 词：分光镜  散射 缺陷检测装置  光电探测器  扫描镜 激光 扫描  透镜  激光扫描方向  光强探测器  信号采集卡  分析系统  光电位移  人工检测  有效检测  激光器  积分球 接线盒  衰减片  探测器 划痕  脱膜 检测  

IPC专利分类号：G01N21/88(20060101)