文献类型：专利

专利类型：实用新型

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200920208696.1

申 请 日：20090831

发 明 人：周柏林 袁佩君 大石满

申 请 人：北京中联科伟达技术股份有限公司

申请人地址：100012 北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)2号楼

公 开 日：20100602

公 开 号：CN201497299U

代 理 人：胡晶

代理机构：31236 上海汉声知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本实用新型公开一种用于多晶槽式制绒设备的热风干燥系统，包括热风循环动力系统、加热系统、烘干主槽、净化系统、充N<Sub>2</Sub>系统；热风循环动力系统、加热系统、净化系统均位于加热系统封闭箱体内；热风循环动力系统进风口直接与烘干主槽的回风系统相连，出口与加热系统的进口直接相连；加热系统位于热风循环动力系统的前方，出口直接与净化系统的进口相连；净化系统位于加热系统的前方，出口直接与烘干主槽的循环进口相连；充N<Sub>2</Sub>系统是由外围的N<Sub>2</Sub>管道直接通到加热系统内部。本实用新型可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隐患。

主 权 项：1.一种用于多晶槽式制绒设备的热风干燥系统，其特征在于，包括热风循环动力系统、加热系统、烘干主槽、净化系统、充N2系统；热风循环动力系统、加热系统、净化系统均位于加热系统封闭箱体内；热风循环动力系统进风口直接与烘干主槽的回风系统相连，出口与加热系统的进口直接相连；加热系统位于热风循环动力系统的前方，出口直接与净化系统的进口相连；净化系统位于加热系统的前方，出口直接与烘干主槽的循环进口相连；充N2系统是由外围的N2管道直接通到加热系统内部。

关 键 词：加热系统  动力系统 净化系统  热风循环 烘干  主槽 热风干燥系统  出口  安全隐患  封闭箱体  循环进口  进风口  碎片率  槽式 多晶 回风 进口  能耗  外围  内部  

IPC专利分类号：F26B9/06(20060101);F26B3/06(20060101);F26B21/04(20060101);H01L31/18(20060101)