专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:实用新型
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN201020287649.3
申 请 日:20100811
申 请 人:上海昀丰光电技术有限公司
申请人地址:201201 上海市张江高科技产业东区胜利路836号7幢甲501
公 开 日:20110330
公 开 号:CN201778147U
代 理 人:逯长明
代理机构:11227 北京集佳知识产权代理有限公司
语 种:中文
摘 要:本实用新型公开了一种籽晶快速更换装置,用于对蓝宝石生长设备中的籽晶进行快速更换,包括:依次设置在所述蓝宝石生长设备的顶盖和波纹管之间的插板阀和隔离室,所述隔离室上设置有排气阀。本实用新型实施例提供的籽晶快速更换装置,缩短了籽晶更换的时间,同时减少了籽晶在更换过程中能源的消耗,消除了现有的籽晶更换过程中对各个部件损坏的风险。基于上述实施例提供的籽晶快速更换装置,本实用新型实施例还提供了一种具有上述籽晶快速更换装置的蓝宝石生长设备。
主 权 项:1.一种籽晶快速更换装置,用于对蓝宝石生长设备中的籽晶进行快速更换,其特征在于,包括:依次设置在所述蓝宝石生长设备的顶盖和波纹管之间的插板阀和隔离室,所述隔离室上设置有排气阀。
关 键 词:籽晶 快速更换装置 蓝宝石生长设备 隔离室 部件损坏 快速更换 顶盖 波纹管 插板阀 排气阀 种籽 能源 风险
IPC专利分类号:C30B29/20(20060101);C30B15/00(20060101)
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...