文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN01800199.8

申 请 日：20010209

发 明 人：长岛伸夫 宫原健介 松冈三郎

申 请 人：科学技术振兴事业团 独立行政法人物质材料研究机构

申请人地址：日本埼玉县

公 开 日：20020807

公 开 号：CN1363036A

代 理 人：王以平

代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

语　　种：中文

摘　　要：一种超微小压入试验装置,具备:配设了硅探针(1)和金刚石压头(2)的双支承杆(3的杆座(4),用来使杆座(4)在3轴方向移动的移动机构(7),用来将金刚石压头压入试料中的压入机构(6),硅探针(1)或金刚石压头(2)的变位测定用的变位计(10),以及用于硅探针(1)或金刚石压头(2)的位置决定以及试料表面的观察的光学收象装置(11);它复合并兼备将金刚石压头压入试料表面后进行根据压入力以及压入深度测定的硬度测定功能、从金刚石压头或硅探针的变位量取得试料表面的形状的分子之间力显微镜功能、以及进行根据光学接收图象装置的试料表面观察的光学显微镜功能,还提供兼备在超微小区域的材料表面的硬度测定功能以及高精度的表面观察功能的试验装置。

主 权 项：1.一种超微小压入试验装置，具备：配设了探针和压头的双支承杆的杆座、用来使杆座在3轴方向移动的移动机构、用来将压头压入试料中的压入机构、探针或压头的变位测定用的变位计、用于探针或压头的位置决定以及试料表面的观察的光学图象接收装置，其特征在于，它复合并兼备将压头压入试料表面、且根据压入力和压入深度的测定的硬度测定功能；从压头或探针的变位量取得试料表面的形状的原子间力显微镜功能；进行根据光学图象接收装置的试料表面观察的光学显微镜功能。

关 键 词：金刚石压头  试料  探针 变位 硬度测定功能  试验装置  杆座  光学显微镜 显微镜功能  双支承杆  图象装置  移动机构  高精度  配设  复合  

IPC专利分类号：G01N3/40;G01N13/16