文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202580000642.8

申 请 日：20250313

发 明 人：刘勇 徐侧茗 谭磊 肖添 施杨剑 王斌 李航 刘玉奎 杨法明 王磊

申 请 人：重庆中科渝芯电子有限公司

申请人地址：401332 重庆市沙坪坝区西园二路98号

公 开 日：20250801

公 开 号：CN120418622A

代 理 人：马健

代理机构：重庆缙云专利代理事务所(特殊普通合伙) 50237

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种提高机械应力测试精确度的方法，包括以下步骤：1)构建应力传感器的应力分量计算公式；2)确定当前应力测试位置上应力传感器各电阻在应力产生前、后的阻值变化率；3)通过离线测试方式确定压阻系数的标准差，取原标准差的几分之一作为新的标准差并在此范围内随机产生压阻系数值；4)将步骤3)随机产生的压阻系数值以及步骤2)的阻值变化率代入应力分量计算公式，实现硅片机械应力测试。本发明的应力测试值不受应力计算公式中系数与自变量等的测量误差影响。

主 权 项：1.一种提高机械应力测试精确度的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)获取待检测应力传感器的应力分量计算公式；2)对所述应力分量计算公式中的自变量进行组合，使得应力对这些自变量的灵敏度之和为0，从而构建应力分量最优计算公式；所述自变量包括压阻系数、电阻变化率、温度差；3)在待检测应力的硅片上选择n个应力测试点；n为大于等于1的正整数；4)在应力测试点i处对待检测应力传感器进行应力测试，并确定应力测试点i处应力传感器各电阻在应力产生前、后的电阻变化率，以及应力产生前、后的温度差；i初始值为1；5)生成新的压阻系数标准差S'＜S；S为原压阻系数标准差；基于新的压阻系数标准差构建压阻系数分布，并在压阻系数分布内产生压阻系数值；6)将步骤4)的电阻变化率、温度差和步骤5)随机产生的压阻系数值代入应力分量最优计算公式，实现硅片机械应力测试；7)判断i≥n是否成立，若成立，则输出各应力测试点的应力测试结果，否则，令i＝i+1，并返回步骤4)。

关 键 词：机械  应力测试 精确度  检测  应力传感器 应力分量 计算公式  自变量  行组  灵敏度  最优  压阻 系数  电阻变化率  温度差  硅片  选择  正整数  测试点 应力产生  初始值  生成  标准差  S'  随机产生  片机  判断  成立  输出  集成电路集成  

IPC专利分类号：G01L 1/18;G01L 1/26