专利详细信息
文献类型:专利
专利类型:发明专利
是否失效:否
是否授权:否
申 请 号:CN01804240.6
申 请 日:20010124
申 请 人:科学技术振兴事业团 太田裕道 折田政宽
申请人地址:日本埼玉县
公 开 日:20050216
公 开 号:CN1189952C
代 理 人:周长兴
代理机构:11021 中科专利商标代理有限责任公司
语 种:中文
摘 要:虽可确认出于Sr<Sub>2</Sub>Cu<Sub>2</Sub>O<Sub>2</Sub>膜上成膜n型ZnO并显现出二极管特性,然而未能确认出来自二极管的发光。本发明是于显示出已层合于透明基板上的发光特性的n型ZnO层上,层合Sr<Sub>2</Sub>Cu<Sub>2</Sub>O<Sub>2</Sub>、CuAlO<Sub>2</Sub>或CuGaO<Sub>2</Sub>而成的p型半导体中的一种所形成的p-n接合而成为特征的半导体紫外线发光组件。透明基板为单晶基板,尤其以已平坦化成原子状的三氧化二钇部分安定化氧化锆(YSZ)(111)基板即可。于透明基板上,在基板温度200~1200℃成膜n型ZnO,再者于其上成膜由SrCu<Sub>2</Sub>O、CuAlO<Sub>2</Sub>或CuGaO<Sub>2</Sub>而成的p型半导体层。在不加热基板下,成膜n型ZnO层,照射紫外线至该ZnO膜上,亦可进行结晶化。
主 权 项:1、一种发光二极管,其特征在于,在已层合于透明基板上的能带隙附近的固有发光的n型ZnO层上,层合由SrCu2O2、CuAlO2或CuGaO2而成的p型半导体中的一种形成p-n结,以形成紫外线发光二极管,该透明基板为已平坦化成原子状的三氧化二钇部分安定化氧化锆(111)单晶基板,在该透明基板上具有异质外延成长的铟锡氧化物层为透明负电极层,所述n型ZnO层为发光层,其通过异质外延成长于所述铟锡氧化物层上并具有1×1017-1×1020/cm3的载体浓度,所述p型半导体层为正孔植入层,于所述p型半导体层上具有由Ni层构成的正电极层。
关 键 词:透明基板 层合 成膜 半导体 紫外线发光组件 二极管特性 照射紫外线 二极管 半导体层 单晶基板 发光特性 基板温度 加热基板 安定化 氧化锆 化成 基板 发光 平坦 显现
IPC专利分类号:H01L33/00;H01L21/363;H01S5/327
参考文献:
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耦合文献:
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引证文献:
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二级引证文献:
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同被引文献:
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