文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202410184020.2

申 请 日：20240219

发 明 人：于伟华 黄修康 汪勋 王彬 卢山

申 请 人：江苏协鑫特种材料科技有限公司

申请人地址：221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号

公 开 日：20240510

公 开 号：CN118007093A

代 理 人：王波

代理机构：北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本申请涉及沉积设备技术领域，且公开了一种用于碳化硅涂层生产的沉积炉进气结构，为了解决零件表面各处沉积膜的厚度不同，导致零件整体质量受影响的问题。本发明通过进气室与分流孔的设置，利用进气室将进气管输入炉体内的反应气体进行收集，之后，该气体通过若干分流孔排出到承载台上，由于分流孔在承载台上方均匀分布，进而使得后续反应气体更加均匀地与承载台表面的零件接触，从而提高零件表面沉积膜的均匀性，通过进气室与搅动杆的设置，利用搅动杆的搅动，使得进气室内的反应气体分散，使得后续气体从分流孔排出时的气体量更接近平均量，进而使得反应气体与承载台表面的零件近似均匀接触，从而提高零件表面沉积膜的均匀性。

主 权 项：1.一种用于碳化硅涂层生产的沉积炉进气结构，其特征在于，包括：炉体（1）与进气管（2），所述炉体（1）上侧面的中心位置固定安装有进气管（2），用以连通炉体（1）的内腔与输气机构；出气管（3），所述炉体（1）下侧面的中心位置固定安装有出气管（3），用以连通炉体（1）的内腔与集气机构；承载台（4），所述炉体（1）内腔的底面固定安装有承载台（4），用以承载零件；进气室（5），所述炉体（1）内腔的上侧面固定安装有进气室（5），所述进气室（5）的内腔与进气管（2）的下端连通，所述进气室（5）的下侧壁体内纵向贯穿开设有分流孔（6），所述分流孔（6）均匀分布在进气室（5）的下侧壁体内。

关 键 词：反应气体 分流孔 零件表面  沉积膜  进气室 承载台  搅动杆  均匀性  排出  承载  碳化硅涂层 沉积设备  进气结构 均匀接触  气体通过  搅动 沉积炉  进气管  气体量  进气 近似  体内  室内  申请  生产  

IPC专利分类号：C23C16/32;C23C16/455;C23C16/458