文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202410728639.5

申 请 日：20240606

发 明 人：夏凡星 杨东 李鸿 李翔宇 蔡照辉

申 请 人：友达光电(昆山)有限公司 友达光电股份有限公司

申请人地址：215300 江苏省苏州市昆山市经济技术开发区龙腾路6号

公 开 日：20241011

公 开 号：CN118754450A

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种蚀刻机构及蚀刻机构的操作方法，蚀刻机构包括第一腔体、传送轴、传送齿轮箱以及驱动组件。第一腔体的顶部和/或底部设置有多个喷嘴，传送轴用于承载板状元件，并带动板状元件移动，传送齿轮箱位于传送轴的至少一侧，传送齿轮箱内包含齿轮组，齿轮组与传送轴连动，传送齿轮箱的内壁还具有至少一喷头，驱动组件用于驱动齿轮组，以带动传送轴转动。于第一模式下，多个喷嘴朝向板状元件喷洒第一液体，以对板状元件进行蚀刻薄化；蚀刻机构连续蚀刻的板状元件的数量超过预设数量时，蚀刻机构切换至第二模式，至少一喷头朝向齿轮组喷洒第二液体，第一液体与第二液体不同。本发明可保证蚀刻机构的正常运作。

主 权 项：1.一种蚀刻机构，用于对板状元件进行薄化，其特征在于该蚀刻机构包括，第一腔体，该第一腔体内的顶部和/或底部设置有多个喷嘴；传送轴，设置于该第一腔体内，该传送轴用于承载该板状元件并带动该板状元件移动，该第一腔体对应该传送轴具有第一开口，以使该传送轴自该第一开口露出；传送齿轮箱，位于该第一腔体外并连接于该第一开口，且该传送齿轮箱对应该第一开口具有第二开口，该传送齿轮箱内包含齿轮组，该齿轮组经由该第一开口及该第二开口连接于该传送轴的至少一侧以与该传送轴连动，该传送齿轮箱的内壁具有至少一喷头；以及驱动组件，位于该第一腔体外并用于驱动该齿轮组，以带动该传送轴转动；其中，于第一模式下，该多个喷嘴朝向该板状元件喷洒第一液体，以对该板状元件进行蚀刻薄化；该蚀刻机构连续蚀刻的板状元件的数量超过预设数量时，该蚀刻机构切换至第二模式，该至少一喷头朝向该齿轮组喷洒该第二液体，该第一液体与该第二液体不同。

关 键 词：蚀刻 传送轴  传送齿轮  齿轮组 喷头  板状元件  第一腔体  驱动组件  喷嘴 喷洒 驱动齿轮组  正常运作  承载板 带动板  薄化  对板  连动  内壁  预设  转动  移动  保证  

IPC专利分类号：C03C15/00