文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202211635475.9

申 请 日：20221219

发 明 人：鲜益民 杨维平

申 请 人：英特尔产品(成都)有限公司 英特尔公司

申请人地址：611731 四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号

公 开 日：20230404

公 开 号：CN115901797A

代 理 人：孙贤溥

代理机构：北京永新同创知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：提供一种用于芯片测试的异物监测系统和控制其成像的方法。所述异物监测系统包括安装在所述芯片测试系统的致动盘上并用于照亮所述芯片测试系统的测试座的照明装置、安装在所述芯片测试系统的机架上并用于对所述测试座进行成像的相机、用于控制所述照明装置的打开和关闭的照明启动装置、以及用于控制所述相机和所述照明启动装置的控制装置，其中，所述相机被设置成相机镜头的入射光轴相对于所述测试座所在平面倾斜地定位。根据本发明,测试座上的外来异物能够更容易地从拍摄的图像中被识别出来并且排除，从而以低成本方式避免了外来异物对芯片上的焊球、焊盘或基片造成损坏。

主 权 项：1.一种用于芯片测试的异物监测系统，包括：安装在所述芯片测试系统的致动盘上并用于照亮所述芯片测试系统的测试座(S)的照明装置(3)；安装在所述芯片测试系统的机架上并用于对所述测试座(S)进行成像的相机(5)；用于控制所述照明装置(3)的打开和关闭的照明启动装置(7)；以及用于控制所述相机(5)和所述照明启动装置(7)的控制装置(9)；其中，所述相机(5)被设置成相机镜头的入射光轴(X)相对于所述测试座(S)所在平面倾斜地定位。

关 键 词：测试座 芯片测试系统  相机 启动装置  外来异物  异物监测  照明装置  成像 控制装置  入射光轴  所在平面  相机镜头 芯片测试 低成本  焊盘  焊球 致动  照亮 芯片 图像  拍摄  

IPC专利分类号：G01N21/94;G01N21/01