文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201910259906.8

申 请 日：20190402

发 明 人：李更兰 田龙 张丛

申 请 人：北京中科信电子装备有限公司

申请人地址：101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

公 开 日：20201013

公 开 号：CN111769026A

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种束流性质的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯阵列(9)，束流挡板(8)，束流挡板传动装置(51)，前置挡板阵列(19)，前置挡板阵列传动装置(32)，控制器(54)，该方法包括：测量前对各法拉第杯进行等束流校准。法拉第杯阵列从起始位置开始水平移动到结束点，控制器记录法拉第杯阵列在X轴位置的采集值，得出束流剖面信息及均匀性。将前置挡板放下，测量束流在各前置挡板处的水平方向角度以及平行度等。通过束流挡板周期性运动测量束流在垂直方向上的密度分布。通过前置挡板阵列和束流挡板配合运动，测量束流垂直方向的角度以及平行度分布。

主 权 项：1.一种束流测量装置，该装置包括法拉第杯阵列，束流挡板，前置挡板阵列，束流挡板传动装置，前置挡板传动装置，控制器。

关 键 词：束流 前置  法拉第杯  束流挡板  挡板阵列  测量  挡板 传动装置  平行度 半导体制造领域  控制器记录  离子注入机 周期性运动  测量装置  密度分布 配合运动  剖面信息  控制器 均匀性  校准  采集  

IPC专利分类号：H01J37/244(20060101);H01J37/317(20060101)