文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201910821897.7

申 请 日：20190902

发 明 人：郑海 唐明亮 胡增涵 徐传龙 程尚栩 陈圆圆

申 请 人：南京工业大学东海先进硅基材料研究院

申请人地址：222300 江苏省连云港市东海县牛山街道光明路38号东海高新区管委会B楼2107

公 开 日：20191206

公 开 号：CN110538621A

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种石英玻璃微通道芯板的制备方法，以石英玻璃为基板，先采用机加工制备凸台石英玻璃板基底，再通过热熔技术将石英玻璃毛细管按照特定走向焊接在在凸台表面，采用刻槽机制备凹槽石英玻璃板基底，最后将凸台石英玻璃板基底和凹槽石英玻璃板基底组合，通过热熔技术形成一个完整的石英玻璃微通道芯板。本发明选用石英玻璃作为基底材料，具有更高的耐热性和光透过率。本发明将普通机械加工技术与热熔技术相结合，操作简单。与机械微加工制备玻璃微通道相比，本发明的微通道内壁表面质量高有利于化学反应稳定进行，且不会出现反应液体泄露现象，微通道尺寸可通过石英玻璃毛细管精确调变，微通道走向、长度可根据化学反应需求调整。微通道与凹槽之间的空间可留作加热换热使用。

主 权 项：1.一种石英玻璃微通道芯板的制备方法，依次包括如下步骤：（1）采用机加工制备凸台石英玻璃板基底；（2）选择特制的石英玻璃毛细管，制定特定的微通道走向，通过热熔技术，将石英玻璃毛细管焊接在凸台表面；（3）采用刻槽机刻槽，制备凹槽石英玻璃板基底，凹槽深度大于凸台高度与石英玻璃毛细管的外径之和；采用钻孔机开4个通孔；（4）通过热熔技术将带有石英玻璃毛细管的凸台石英玻璃板基底和凹槽石英玻璃板基底熔融结合，形成一个完整的石英玻璃微通道芯板。

关 键 词：微通道 石英玻璃板  石英玻璃 基底 热熔  制备  石英玻璃毛细管  化学反应  凸台 芯板 耐热性  机械加工技术  玻璃微通道  反应液体  光透过率  基底材料  基底组合  内壁表面  凸台表面  需求调整  机加工  微加工 调变  换热  基板  刻槽  加热  焊接  泄露  

IPC专利分类号：B01J19/00(20060101);B01J19/02(20060101)