文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201510710240.5

申 请 日：20151028

发 明 人：林萍

申 请 人：北京中科信电子装备有限公司

申请人地址：101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

公 开 日：20170510

公 开 号：CN106653542A

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。

主 权 项：1.一种新型宽束流减速器装置，该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速器之后既达到减速目的，又起到更好聚焦作用。

关 键 词：抑制电极  地电极  离子 减速电极 减速器 透镜  聚焦电极 电势差  束流 离子聚焦作用  水平方向电场  束流减速器  电场 加速电场  聚焦效果  聚焦作用  离子加速  透镜原理  发散  打火  宽带  靠拢  减速  聚焦  穿过  

IPC专利分类号：H01J37/317(20060101);H01J37/05(20060101)