文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201510173378.6

申 请 日：20150413

发 明 人：陆惠宗

申 请 人：无锡迈福光学科技有限公司

申请人地址：214200 江苏省无锡市宜兴市宜兴经济开发区锦程大道11号宜兴创业园

公 开 日：20190222

公 开 号：CN106153626B

代 理 人：王松

代理机构：31242 上海金盛协力知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明揭示了一种表面瑕疵光学检测装置及其检测方法，所述检测装置包括：激光器、偏振器、扩束镜、第一偏振分光镜、剪切棱镜、扫描镜面、远心扫描透镜、积分球集光器、第一光电探测器、波片、第二偏振分光镜、第二光电探测器；所述激光器、偏振器、扩束镜依次设置；所述剪切棱镜设置于第一偏振分光镜及扫描镜面之间；剪切棱镜的设置使得入射光被分成两束光强相等并偏振正交的部分，并且两束光之间有在远心扫描透镜的后焦面上形成一个很小的夹角；所述波片设置于第一偏振分光镜与第二偏振分光镜之间，第二偏振分光镜与第二光电探测器连接。本发明提出的表面瑕疵光学检测装置及方法，可提高表面瑕疵的检测精度及效率。

主 权 项：1.一种表面瑕疵光学检测方法，其特征在于，利用表面瑕疵光学检测装置实现；所述表面瑕疵光学检测装置包括：激光器、偏振器、扩束镜、第一调整镜、第二调整镜、第一偏振分光镜、剪切棱镜、扫描镜面、远心扫描透镜、积分球集光器、第一光电探测器、波片、第二偏振分光镜、第二光电探测器；所述激光器、偏振器、扩束镜依次设置；所述第一调整镜、第二调整镜设置于扩束镜及第一偏振分光镜之间；所述剪切棱镜设置于第一偏振分光镜及扫描镜面之间；所述远心扫描透镜设置于扫描镜面及积分球集光器之间；所述积分球集光器的底端有一个圆形的或长方形的开口，圆形开口的直径或长方形开口的长度略大于扫描的长度，积分球集光器的上方为一狭长形开口，在积分球集光器的腔体内侧，安装有一个高灵敏光点探测器，即第一光电探测器；所述检测方法包括：激光束从激光器发出，经偏振器后，进入扩束镜，作为激光散射扫描及剪切干涉的光源；光束经扩束镜后由第一调整镜、第二调整镜调整后进入第一偏振分光镜；此时的光束偏振方向在与第一偏振分光镜入射面法线和反射面法线所组成的面内；几乎所有的入射光将通过该第一偏振分光镜入射到剪切棱镜上；剪切棱镜的设置使得入射光被分成两束光强相等并偏振正交的部分，并且两束光之间有在远心扫描透镜的后焦面上形成一个夹角；扫描镜面将入射光束沿一个方向快速扫描，经远心扫描透镜后，在被测表面形成两个汇聚光点，并划过一个长度为L＝f·2θ的直线；这里，f为远心扫描透镜的焦距，θ为扫描镜面的扫描范围；两束光在被测表面形成汇聚的两个光斑，两个光斑的中心距离由远心扫描透镜的焦距及两束光的夹角决定；积分球集光器及第一光电探测器组成的散�

关 键 词：偏振分光镜  光电探测器  表面瑕疵  剪切  棱镜 光学检测装置  远心扫描透镜  扫描镜面  激光器  扩束镜  偏振器 波片 积分球集光器  检测装置  依次设置  入射光 正交的  检测  光强 后焦  偏振 相等  

IPC专利分类号：G01N21/88(20060101)