文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201610396132.X

申 请 日：20160607

发 明 人：朱沫浥 王伟 邾根祥 江晓平 王卫

申 请 人：合肥科晶材料技术有限公司

申请人地址：230031 安徽省合肥市长江西路669号华源实业园

公 开 日：20160831

公 开 号：CN105911303A

代 理 人：宣圣义

代理机构：合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供的一种多样品单通道自动切换进样系统，包括直线丝杠传动机构与行星齿轮式转动切换机构；一种使用上述多样品单通道自动切换进样系统的进样方法，包括利用直线丝杠传动机构中的推送杆，将行星齿轮式转动切换机构中的各种样品推送入工作区域。本发明结构简单、使用方便，能够实现多样品的单个有序进出切换，可实现多层沉积薄膜的一次性试验，无需多次打开实验设备，操作快速稳定，并有效的避免了污染的产生。

主 权 项：1.一种多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：包括机架，机架上安装有进样机构，切换机构及控制系统，进样机构，设有推送杆；切换机构，设有多组用于分别存放各种样品的物料舱室；控制系统，控制推送杆推送各物料舱室的样品。

关 键 词：多样品  行星齿轮式 进样系统  直线丝杠  转动切换  自动切换 单通道 传动机构中  多层沉积  工作区域  快速稳定  实验设备  推送杆  一次性  进样 薄膜  送入  试验  污染  

IPC专利分类号：G01N35/10(20060101)