文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201410721542.8

申 请 日：20141203

发 明 人：郑海 唐明亮 刘宝 杨学根 胡增涵 李雪

申 请 人：南京工业大学东海先进硅基材料研究院

申请人地址：222300 江苏省连云港市东海县晶都大道科教创业园区B栋303室

公 开 日：20160210

公 开 号：CN105314984A

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供了一种从废旧石英坩埚表面回收、制取β-氮化硅的方法。该方法包括：①将含有二氧化硅、硅、金属等杂质的氮化硅原料加入稀酸液，进行一次常温酸洗，除去金属杂质；②常温下进行二次氢氟酸酸洗，去除二氧化硅及部分硅；③采用纯水清洗呈中性，真空烘干；④1300-1550℃高温氮化处理，得到β-氮化硅；⑤球磨粉碎，筛分分级，选取粒度小于10μm的β-氮化硅。本发明的方法实现了废旧石英坩埚表面氮化硅涂层的高纯回收利用，制取的β-氮化硅可以用作氮化硅陶瓷生产中的增韧材料。

主 权 项：1.一种回收废旧氮化硅制备β-氮化硅增韧颗粒的方法，其特征在于如下步骤： （1）、超声水洗：将涂覆氮化硅的废旧石英坩埚破碎，放入清洗槽中，加水超声振荡，使得坩埚表面的氮化硅脱落，过滤、脱水，得到含有二氧化硅、硅、金属等杂质的氮化硅原料； （2）、一次酸洗：将氮化硅原料加入稀酸溶液，常温下搅拌0.5-2h； （3）、二次酸洗：将步骤（2）处理后的氮化硅和氢氟酸溶液置于聚四氟乙烯烧杯，常温下搅拌酸洗0.5-5h； （4）、清洗烘干：使用纯水超声清洗经步骤（3）处理得到的氮化硅，至溶液PH值为7时止，80℃真空烘干； （5）、高温氮化：将步骤（4）得到的氮化硅放入管式炉中，在高纯N₂气氛、1300-1550℃高温下进行氮化处理0.5-4h； （6）、球磨分级：将步骤（5）得到的氮化硅进行球磨细化，筛分分级，得β-氮化硅增韧颗粒。

关 键 词：氮化硅 石英坩埚  制取  高温氮化处理  去除二氧化硅  氮化硅陶瓷 氮化硅原料  表面氮化  常温酸洗  除去金属  纯水清洗  二氧化硅 高纯回收  球磨粉碎  筛分分级  增韧材料  真空烘干  常温下  硅涂层  氢氟酸  稀酸液  二次  酸洗 一种  小于  选取  金属  回收 进行  加入  生产  

IPC专利分类号：C04B35/584(20060101);C04B35/626(20060101)