文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210138298.3

申 请 日：20120507

发 明 人：何晓明 郭余庆 胡晖 吴成荣 郭宏鹤 胡森 施吉祥

申 请 人：江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司

申请人地址：225327 江苏省泰州市高港区永安南路8号

公 开 日：20130313

公 开 号：CN102628184B

代 理 人：龚拥军

代理机构：32237 江苏圣典律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供一种真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法和实现该方法的设备，该方法通过感应钨、钼或钨钼合金加热体的方式加热，加热坩埚内氧化铝原料至熔化后，观察熔体对流情况和液流线速度，通过调节钨、钼或者钨钼合金加热体与坩埚相对位置关系选择合适的下种温度，经过下种、放肩、等径生长以及晶体与坩埚脱离过程，完成晶体生长。该设备感应钨、钼或钨钼合金加热体（7）与钨、钼或钨钼合金坩埚（13）之间有可调节的间隙，可调节感应钨、钼或钨钼合金加热体（7）与钨、钼或钨钼合金坩埚（13）之间相对位置关系。采用本发明的方法和设备，可以生产较大尺寸蓝宝石，其便于工艺自动化控制，降低能耗节约成本。

主 权 项：1. 一种真空感应加热生长蓝宝石晶体的方法，其特征在于：在感应加热提拉法生长晶体的基础上，通过感应钨、钼或钨钼合金加热体的方式加热，加热坩埚内氧化铝原料至熔化后，观察熔体对流情况和液流线速度，通过调节钨、钼或者钨钼合金加热体与坩埚相对位置关系选择合适的下种温度，经过下种、放肩、等径生长以及晶体与坩埚脱离过程，完成晶体生长；其中，晶体生长过程中真空压力不大于6×10^-3Pa；生长过程以缓慢提拉法的方式生长晶体，提拉拉速在0.05-0.6mm/h范围；晶体生长过程降温速率为5-500瓦/小时，生长结束后降温速率为100-2000瓦/小时。

关 键 词：钨钼合金  加热体  坩埚 相对位置关系  可调节  生长蓝宝石晶体  熔化  工艺自动化  氧化铝原料 等径生长  对流情况  加热坩埚  节约成本  晶体生长  设备感应  真空感应 蓝宝石 大尺寸  线速度 放肩 熔体  液流  能耗  脱离  

IPC专利分类号：C30B29/20(20060101); C30B15/14(20060101)