文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110254699.0

申 请 日：20110831

发 明 人：张高博 黄小亮 陈继 庄恒亚

申 请 人：上海优华系统集成技术有限公司 广州市优华过程技术有限公司

申请人地址：200127 上海市浦东新区杨高南路428号2号楼9楼B室

公 开 日：20120502

公 开 号：CN102432016A

代 理 人：刘伍堂

代理机构：11254 北京连城创新知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及化工技术领域，具体地说是一种多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统，其特征在于：还原尾气先通入余热锅炉的还原尾气进口作为余热锅炉的蒸发热源，而经余热锅炉换热的还原尾气再进入尾气换热器与水进行换热，水经尾气换热器换热为80～115℃的热水后再分两路分别输入余热锅炉的进水口和还原炉炉筒水闪蒸槽的进水口，而经尾气换热器换热后出来的还原尾气再进入尾气冷却器与来自循环水管网的循环水换热后再送往尾气回收装置的进口。本发明同现有技术相比，对还原尾气的热能进行了充分地梯级利用，可减少3～10％的外购蒸汽量；循环水用量约减少40～80％，大大节省了能耗，节约了生产成本。

主 权 项：1.一种多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统，主要采用换热系统对还原尾气的热能进行梯级利用，所述的换热系统包括余热锅炉、还原炉炉筒水闪蒸槽、循环水管网、蒸汽管网，其特征在于：200～300℃的还原尾气先通入余热锅炉（E1）的还原尾气进口（1）作为余热锅炉（E1）的蒸发热源来蒸发余热锅炉内的水产生蒸汽送往蒸汽管网，而经余热锅炉换热至130～175℃、压力为0.4～0.5MPaG的还原尾气再进入尾气换热器（E2）与20～75℃的水进行换热，20～75℃的水经尾气换热器（E2）换热为80～115℃的热水后再分两路分别输入余热锅炉的进水口（11）和还原炉炉筒水闪蒸槽（D）的进水口作为产生蒸汽的水源，而经尾气换热器（E2）换热后出来的50～90℃的还原尾气再进入尾气冷却器（E3）与来自循环水管网的30～35℃的循环水进行换热，换热后降温至45～60℃的还原尾气再送往尾气回收装置的进口。

关 键 词：还原尾气  换热  尾气换热器  余热锅炉 进水口  循环水  再进入  化工技术领域  尾气回收装置  余热锅炉换热  多晶硅生产  尾气冷却器  循环水用量  还原炉炉  回收系统  梯级利用 蒸发热源  蒸汽量 管网  两路  闪蒸 送往  筒水  进口  生产成本  能耗  优化  

IPC专利分类号：C01B33/035(20060101)