文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110254592.6

申 请 日：20110831

发 明 人：张高博 黄小亮 陈继 庄恒亚

申 请 人：上海优华系统集成技术有限公司 广州市优华过程技术有限公司

申请人地址：200127 上海市浦东新区杨高南路428号2号楼9楼B室

公 开 日：20120418

公 开 号：CN102417183A

代 理 人：刘伍堂

代理机构：11254 北京连城创新知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及多晶硅尾气回收技术领域，具体地说是一种改进的多晶硅制备中冷氢化尾气回收冷凝系统，其特征在于：采用7℃冷冻水与冷氢化装置来的40～50℃的尾气进行预换热，使尾气预冷却至15～20℃后气液分离，预换热气液分离后的15～20℃的尾气气相再分别进行一至三级换热。本发明同现有技术相比，先利用厂内已有的低品位的7℃冷冻水，将40～50℃的尾气预冷却至15～20℃左右，再采用乙二醇冷剂进行一级换热，这样一级换热中所使用的乙二醇冷剂的用量将可以减少60%左右，大大节约生产成本。

主 权 项：1.一种改进的多晶硅制备中尾气回收冷凝系统，采用冷氢化尾气回收冷凝装置对冷氢化装置来的尾气进行冷凝分离，所述的冷氢化尾气回收冷凝装置包括乙二醇冷凝器、氢气冷凝器、R22冷凝器、冷冻水冷凝器、液相缓冲罐，其特征在于冷氢化尾气回收冷凝装置采用改进的冷氢化尾气回收冷凝装置对冷氢化装置来的尾气进行如下工艺的冷凝分离：采用7℃冷冻水与冷氢化装置来的40～50℃的尾气进行预换热，使尾气预冷却至15～20℃后气液分离，预换热气液分离后的15～20℃的尾气气相再采用-20℃的乙二醇冷剂进行一级换热使尾气冷却至-10～-15℃后再次气液分离，一级换热气液分离后的-10～-15℃的尾气气相再与后续的采用-45℃的R22冷剂三级换热后出来的-35～-40℃的尾气气相进行二级换热，使尾气进一步冷却至-20～-25℃气液分离，二级换热气液分离后的-20～-25℃的尾气气相再采用-45℃的R22冷剂进行三级换热降温至-35～-40℃气液分离，三级换热气液分离后分离出来的-35～-40℃的尾气气相作为二级换热时所使用的冷源；而上述的预换热至三级换热的四个工序所冷凝下来的尾气液相则进入液相缓冲罐（D）中。

关 键 词：尾气 换热  尾气回收 多晶硅 冷冻水 乙二醇  冷氢  冷却  冷凝系统  气相 气液 生产成本  品位

IPC专利分类号：C01B33/107(20060101);C01B3/50(20060101);C01B33/03(20060101)