文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110123914.3

申 请 日：20110513

发 明 人：张峰 曹共柏 魏星 王文宇 王曦

申 请 人：上海新傲科技股份有限公司

申请人地址：201821 上海市嘉定区普惠路200号

公 开 日：20140604

公 开 号：CN102201358B

代 理 人：孙佳胤;翟羽

代理机构：31218 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：一种表征衬底表面性质的装置，用于夹持衬底以对其表面进行选择性遮挡，以便对衬底表面进行选择性腐蚀，包括：多个压盘，所述压盘各自具有一朝向被夹持的衬底的被腐蚀表面的平面；一背板，所述背板与压盘相对设置，用于同压盘的平面相配合以夹持衬底；第一夹具，所述第一夹具与压盘以及背板连接，用于在压盘和背板上施加对向的压力，从而将衬底夹持在压盘与背板之间；连接件，所述连接件用于连接压盘与压盘，以及压盘与夹具。

主 权 项：1.一种表征衬底表面性质的装置，用于夹持衬底以对其表面进行选择性遮挡，以便对衬底表面进行选择性腐蚀，其特征在于，包括： 多个压盘，所述压盘各自具有一朝向被夹持的衬底的被腐蚀表面的平面； 一背板，所述背板与压盘相对设置，用于同压盘的平面相配合以夹持衬底； 第一夹具，所述第一夹具与压盘以及背板连接，用于在压盘和背板上施加对向的压力，从而将衬底夹持在压盘与背板之间； 连接件，所述连接件用于连接压盘与压盘，以及压盘与夹具； 其中，所述压盘、背板以及连接件的材料为聚四氟乙烯。

关 键 词：压盘 背板 夹具 衬底表面  夹持衬  连接件 选择性腐蚀  腐蚀表面  衬底夹  连接  被夹  衬底

IPC专利分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/00(20060101);H01L21/306(20060101)