文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110180430.2

申 请 日：20110630

发 明 人：邵新宇 张国军 张华书 黄禹 陈宇 刘高水 李海洲 王炳勇

申 请 人：东莞市华科制造工程研究院有限公司 广东志成冠军集团有限公司

申请人地址：523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号

公 开 日：20111221

公 开 号：CN102286725A

代 理 人：谭一兵

代理机构：44224 广州华进联合专利商标代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种新型可调基片输送辊装置，空间位置可调，能保证其刚性和可靠性，本装置设有阶梯轴，阶梯轴外围设有轴承座，轴承座为偏心结构，阶梯轴通过轴承座固定于真空腔墙体上，轴承座的安装孔的中心线与真空腔墙体的中心线偏离0.5～1mm，阶梯轴真空室内的一端的光轴段上套接有传送辊，传送辊通过传送键卡接阶梯轴，传送辊的两侧均设有一组螺母，阶梯轴的光轴段端部具有细牙螺纹，阶梯轴真空室外的一端套接有同步带轮，同步带轮通过传送键卡接阶梯轴；本发明不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使设备制造成本降低，能在轴向和径向上可调，保证调整精度。

主 权 项：1.一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：本装置设有阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）外围设有轴承座（2），所述轴承座（2）为偏心结构，所述阶梯轴（1）通过轴承座（2）固定于真空腔墙体（8）上，所述阶梯轴（1）真空室内一端的光轴段上套接有传送辊（3），所述光轴段设有传送键（4），所述传送辊（3）通过传送键（4）固定卡接所述阶梯轴（1），所述传送辊（3）的两侧分别设有一组螺母（5）；所述阶梯轴（1）真空室外的一端套接有同步带轮（11），所述同步带轮（11）通过传送键（4）卡接阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）和轴承座（2）之间设有套筒Ⅰ（6）和套筒Ⅱ（7），所述套筒Ⅰ（6）两侧分别设有一组相对阶梯轴（1）对称的轴承（9）；所述套筒Ⅱ（7）一侧设有相对阶梯轴（1）对称的两组密封圈（10），所述套筒Ⅱ（7）的另一侧设有相对阶梯轴（1）对称的一组轴承（9）。

关 键 词：阶梯轴 轴承座  传送辊  同步带 真空腔  光轴 卡接  墙体  设备制造成本  螺母  镀膜质量  空间位置  偏心结构 安装孔  输送辊 牙螺纹  上套  套接  轴向  焊接  室外  外围  两侧  固定  

IPC专利分类号：C23C14/35(20060101);C23C14/56(20060101)