文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210210755.5

申 请 日：20120625

发 明 人：陆惠宗

申 请 人：无锡迈福光学科技有限公司

申请人地址：214200 江苏省无锡市宜兴经济开发区锦程大道11号宜兴创业园

公 开 日：20121003

公 开 号：CN102706282A

代 理 人：王松

代理机构：31242 上海金盛协力知识产权代理有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明揭示了一种激光干涉测距仪，包括激光器（10）、第一分光器(20)、第二分光器(30)、探测器(50)、参考面（40）、第一反射单元(80)、第一反射组(92)、第二反射组(91)；激光器、第一分光器、第二分光器依次设置；干涉光经第一反射单元反射后进入第一反射组，第一反射组的第一个斜面将光反射后导入第二反射组；光线在这两组反射组之间经多次反射后，最终以正入射的形式入射到被测反射面，经该反射面反射，光沿原路返回，最后经第二分光器与经参考面反射的参考光重合，并经第一分光器反射后，在探测器表面进行干涉。本发明提出的激光干涉测距仪，可通过对周期性变化的已转化成电信号的干涉正弦信号进行数字化处理并通过对信号强度进行细分，使测量灵敏度提高。

主 权 项：1.一种激光干涉测距仪，其特征在于，所述测距仪包括：激光器、第一分光器、第二分光器、探测器、参考面、第一反射单元、第一反射组、第二反射组；所述激光器、第一分光器、第二分光器依次设置，探测器设置于第一分光器的一侧，接收从第一分光器反射的光；参考面设置于第二分光器的一侧，接收从第二分光器反射的光并反射；干涉光经第一反射单元反射后进入第一反射组，第一反射组的第一个斜面将光反射后导入第二反射组；光线在这两组反射组之间经多次反射后，最终以正入射的形式入射到被测反射面，经该反射面反射，光沿原路返回，最后经第二分光器与经参考面反射的参考光进行干涉，在探测器表面进行干涉。

关 键 词：分光  反射单元  激光干涉 激光器  参考面  测距仪 反射面  干涉  测量灵敏度  数字化处理  探测器表面  周期性变化  信号强度 形式入射  正弦信号 参考光 光反射  探测器 导入  光沿  细分  转化  

IPC专利分类号：G01B11/02(20060101)