文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110129767.0

申 请 日：20110519

发 明 人：赵林 张金山 顾高峰 王晔晔 张旭华

申 请 人：昆山西钛微电子科技有限公司

申请人地址：215300 江苏省苏州市昆山市开发区纵四路东侧、同丰路北侧

公 开 日：20150107

公 开 号：CN102787315B

代 理 人：盛建德

代理机构：32212 昆山四方专利事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开了一种单片杯式旋转蚀刻装置，其包括储液槽、杯子腔体、循环泵和晶圆正反旋转锁定装置，循环泵恰能把盛装于储液槽内的蚀刻混合液输送到杯子腔体内；晶圆正反旋转锁定装置恰可拆卸固定晶圆并带动晶圆做正反方向旋转；以杯子腔体的开口方向为上方作为基准，晶圆正反旋转锁定装置设于杯子腔体的正上方，且安装于晶圆锁定装置上的晶圆至少位于杯子腔体的开口面以下。该单片杯式旋转蚀刻装置，不仅结构简单、使用方便，而且蚀刻产品时效率高、均匀性好，且便于蚀刻药液的回收重复利用。

主 权 项：1.一种单片杯式旋转蚀刻装置，其特征在于：其包括储液槽(1)、杯子腔体(2)、循环泵(3)和晶圆正反旋转锁定装置(4)，所述循环泵恰能把盛装于所述储液槽内的蚀刻混合液输送到所述杯子腔体内；所述晶圆正反旋转锁定装置恰可拆卸固定晶圆并带动所述晶圆做正反方向旋转；以杯子腔体的开口方向为上方作为基准，所述晶圆正反旋转锁定装置设于所述杯子腔体的正上方，且安装于所述晶圆锁定装置上的晶圆至少位于所述杯子腔体的开口面以下；所述杯子腔体的底部与所述储液槽连通，并在其连通的第一管道(5)上设有第一腔体排放阀(6)；所述杯子腔体设于所述储液槽的上方，在所述杯子腔体的外围设有溢流槽(7)，所述溢流槽与所述储液槽连通，并在其连通的第二管道(8)上设有第二腔体排放阀(9)；在所述储液槽上还设有加热器(16)和温度感应器(17)；在所述储液槽和所述杯子腔体之间设有输送管道(10)，并在该输送管道上从靠近储液槽到杯子腔体方向依次设有循环控制阀(11)、循环泵、过滤器(12)和流量计(13)；在所述储液槽上还设有废液排放阀(14)和废液排放泵(15)；在所述储液槽内还设有超高液位感应器(18)、高液位感应器(19)、低液位感应器(20)和超低液位感应器(21)；还设有一水槽(22)、水枪(23)和氮气枪(24)，另设有补水装置和氮气供应装置，所述补水装置可分别对所述储液槽、水槽和水枪进行补水，所述氮气供应装置为所述氮气枪提供氮气；在所述单片杯式旋转蚀刻装置的底面平台上设有漏液感应器(25)；所述正反旋转锁定装置上设有旋转电机、PLC控制器和转速感应器，所述PLC控制器接收所述转速感应器的信号并控制所述旋转电机的动作。

关 键 词：晶圆 杯子 腔体  旋转锁定装置  旋转  蚀刻装置  循环泵 杯式  储液  单片 蚀刻 固定晶圆  回收重复  开口方向  蚀刻产品  蚀刻药液  锁定装置  混合液  均匀性  可拆卸  正上方  盛装 开口  

IPC专利分类号：C23F1/08(20060101)