文献类型：会议

作　　者：苟伟 李国卿 关秉羽

作者单位：大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 沈阳北宇真空设备厂

会议文献：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议名称：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会

会议日期：20030900

会议地点：中国浙江宁波

主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会;宁波市科技局;宁波市科技园;浙江大学;清华大学;北京北仪创新真空技术有限责任公司

出版日期：20030900

学会名称：中国真空学会

语　　种：中文

摘　　要：多弧离子镀TiN膜具有硬度高、摩擦系数小和耐腐蚀性能好等优点,在装饰、防腐和提高工件使用寿命方面都发挥着很大的作用。但直接在不锈钢基体上进行多弧离子镀TiN膜,常常会因为结合力不理想而难以用于工业化生产。为了解决这一问题,人们尝试了很多的复合处理技术,其中离于强化-镀膜一体化技术就是一种正在研究的可以实现的技术。它主要利用了氮化来提高基体的硬度,从而改善膜基结合力的方式来达到理想的效果。等离于体源离子氮化比其它氮化方式

关 键 词：等离子体源 离子氮化 多弧离子镀 复合涂层  

分 类 号：TG174]