文献类型：会议

作　　者：张成武 李国卿 柳翠 关秉羽

作者单位：大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 沈阳北宇真空设备厂

基　　金：国家863计划(2001AA338010)资助项目

会议文献：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议名称：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会

会议日期：20030900

会议地点：中国浙江宁波

主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会;宁波市科技局;宁波市科技园;浙江大学;清华大学;北京北仪创新真空技术有限责任公司

出版日期：20030900

学会名称：中国真空学会

语　　种：中文

摘　　要：利用脉冲磁过滤阴极弧制备的非晶碳膜有许多优良的性能,如高硬度与高弹性模量、生物相容性好、高禁带宽度、高热稳定性以及良好的场致发光能力等,在诸多领域都获得广泛的应用。我们采用自行研制的脉冲磁过滤阴极弧系统,成功的在单晶硅(100)和不锈钢基片上制备出了四面体非晶碳膜(tetrahedral amorphous carbon即ta-C),

关 键 词：磁过滤  阴极弧  四面体非晶碳膜  等离子体

分 类 号：TB43]