文献类型：会议

作　　者：陈玲玲 李国卿 关秉羽 汪思源

作者单位：[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 [2]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 [3]沈阳北宇真空设备厂 [4]大连海事大学

会议文献：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议名称：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会

会议日期：20030900

会议地点：中国浙江宁波

主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会;宁波市科技局;宁波市科技园;浙江大学;清华大学;北京北仪创新真空技术有限责任公司

出版日期：20030900

学会名称：中国真空学会

语　　种：中文

摘　　要：随着工农业的发展,计算机的普及及应用,计算机已经深入到国民经济的各个领域。镀膜机也不例外,为了保障产品的质量及生产的效率,将微机自动控制引入镀膜过程。在先进设备及工艺处理过程中,安排最佳运行方式,节约能源,保证镀膜质量。近年来,国内也已经开始了镀膜工艺控制系统和微机控制系统的设计和研究。本项计算机控制系统旨在满足磁控溅射——多弧镀膜机复杂工艺系统的要求。

关 键 词：镀膜机 微机控制 磁控溅射

分 类 号：TB43]