文献类型：会议

作　　者：柳翠 李国卿 牟宗信 张成武 关秉羽

作者单位：大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 沈阳北宇真空设备厂

基　　金：国家863计划(2001AA338010)资助项目

会议文献：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议名称：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会

会议日期：20030900

会议地点：中国浙江宁波

主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会;宁波市科技局;宁波市科技园;浙江大学;清华大学;北京北仪创新真空技术有限责任公司

出版日期：20030900

学会名称：中国真空学会

语　　种：中文

摘　　要：类金刚石碳膜（diamond-like carbon films,简称DLC膜）是一系列含有sp、sp碳碳杂化键的非晶碳膜的总称。DLC膜具有很多类似金刚石的性质,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、化学稳定性、耐蚀性、导热性、电绝缘性、光学透过性和生物相容性等,可广泛用于机械、电子、光学、化工和生物等领域。DLC膜作为硬质合金刀具工具、精密零件的自润滑膜、磁介质保护膜、光学增透膜、电子元件的保护膜、高保真扬声器振膜和生物体保护膜等方面具有广阔的应用前景。

关 键 词：磁控溅射 类金刚石碳膜 金属掺杂

分 类 号：TB43]