会议论文详细信息
Cr金属薄膜温度传感器的研究
文献类型：会议
作者单位：大连理工大学电子系 大连理工大学电子系 大连理工大学电子系 大连理工大学微系统研究中心
基 金：国家自然科学基金(60174034)
会议文献：第二届全国信息获取与处理学术会议论文集
会议名称：第二届全国信息获取与处理学术会议
会议日期：20040800
会议地点：中国大连
主办单位：中国仪器仪表学会
出版单位：《仪器仪表学报》杂志社
出版日期：20040800
学会名称：中国仪器仪表学会
语 种：中文
摘 要：采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。
关 键 词：温度传感器 Cr金属薄膜 电阻温度系数
分 类 号：TP212]
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