会议论文详细信息
中国MEMS的研究与开发进程(简稿)
文献类型：会议
作者单位：大连理工大学微系统研究中心
会议文献：MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南
会议名称：仪器仪表与自动化技术发展学术大会
会议日期：20020900
主办单位：中国仪器仪表学会（China Instrument and Control Society）
出版日期：20020900
学会名称：中国仪器仪表学会
语 种：中文
摘 要：微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,十三年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点。
关 键 词：微机电系统 重大意义
分 类 号：F426.63]
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