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会议论文详细信息

碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用       

文献类型:会议

作  者:孙卓 陈奕卫 郭平生 陈婷 张哲娟 王莉莉 曹章轶 蔡炳初 徐东

作者单位:华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 上海交通大学微米纳米科学技术研究院 上海交通大学微米纳米科学技术研究院

会议文献:上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集

会议名称:上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

会议日期:20050100

会议地点:中国上海

主办单位:上海市真空学会

出版日期:20050100

学会名称:上海市真空学会

语  种:中文

摘  要:本文从碳纳米材料,特别是碳纳米管或纤维薄膜的的制备工艺、结构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综述。重点叙述了在新型平面显示器(FED)、节能光源、压力传感器、微波管等器件方面的应用。同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原型器件,使研制实用化的FED取得了突破。

关 键 词:碳纳米材料 冷阴极 场发射器件  化学气相沉积

分 类 号:TN104]

参考文献:

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耦合文献:

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引证文献:

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二级引证文献:

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同被引文献:

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