会议论文详细信息
基于CFD的涡旋干式真空泵内气体流动特性分析
文献类型：会议
作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳 110819
会议文献：中国真空学会2018学术年会论文集
会议名称：中国真空学会2018学术年会
会议日期：20180816
会议地点：长春
主办单位：中国真空学会
出版日期：20180816
语 种：中文
摘 要：应用动网格技术建立了三涡旋线与单涡旋线工作腔串联抽气的双级涡旋干式真空泵内瞬态流动的CFD仿真模型，并对吸气压力为10000 Pa、1000 Pa和100 Pa三种工况进行了仿真计算.吸气压力为10000 Pa时，数值计算结果与实验测试抽速基本一致，吸气压力为1000 Pa时，模拟误差增大到-5.7%，吸气为100Pa时，受气体流态影响，计算结果与实验数据偏离较大.
关 键 词：涡旋干式真空泵 计算流体力学(CFD) 动网格 数值模拟
分 类 号：TH4] O51]
参考文献：
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