会议论文详细信息
文献类型:会议
作者单位:昆明理工大学,光电子新材料研究所 650093 昆明理工大学,光电子新材料研究所 650093 德国马普固体物理所
会议文献:第十二届全国固体薄膜会议论文集
会议名称:第十二届全国固体薄膜会议
会议日期:20101129
会议地点:南宁
主办单位:中国电子学会
出版日期:20101129
语 种:中文
摘 要:采用脉冲激光沉积法(PLD)在LaAlO3(LAO)衬底上制备了Ag掺杂的La2/3Ca1/3MnO3薄膜,X射线衍射分析表明所制备薄膜均沿[001]单取向生长,ω-θ摇摆曲线及AFM显示,所制备薄膜结晶质量较好,表面粗糙度较小,并且温度越高薄膜结晶质量越好。
关 键 词:脉冲激光沉积 退火氧压 结晶质量 复合薄膜材料
分 类 号:TN304.055]
参考文献:
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引证文献:
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