文献类型：期刊文章

作　　者：杜小振[1] 褚金奎[1] 朴相镐[1] 张海军[1]

机构地区：[1]大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 大连理工大学微系统研究中心,大连,116024

出　　处：《中国机械工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50475153);教育部新世纪优秀人才支持项目

年　　份：2005

卷　　号：16

期　　号：z1

起止页码：41-43

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZT的正压电效应,实现振动机械能向电能转换.该装置结构简单、体积小、质量小,可以用MEMS集成加工工艺实现结构加工,因此与其他微型MEMS器件可以集成在一个基础上.

关 键 词：微型悬臂梁  压电陶瓷 微能源  MEMS

分 类 号：TK01[能源动力类]