期刊文章详细信息
封装腔体内自由粒子的控制
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]无锡微电子科研中心三室,江苏无锡214035
年 份：2001
卷 号：1
期 号：2
起止页码：24-26
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文对陶封电路封装腔体内的自由粒子进行了研究分析,阐述了自由粒子的来源、对粒子数量的控制方法和途径并做了PIND 试验。
关 键 词：封装腔体 自由粒子 工艺控制
分 类 号：TN305.94]
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