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钛酸钡系薄膜的制备方法、性质及应用
Preparations,properties and applications of BaTiO_3-based thin film
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北师范大学实验中心,河北石家庄050016 [2]石家庄化肥厂
年 份：2004
卷 号：36
期 号：4
起止页码：5-8
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶—凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶—凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺特点进行了讨论。介绍了钛酸钡薄膜的性质和掺杂后(主要是锶掺杂)对薄膜电性能的影响,对它们的应用现状进行了概括,并对钛酸钡系薄膜的发展趋势做了展望。
关 键 词：钛酸钡 薄膜 制备
分 类 号：TQ132.35]
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