文献类型：期刊文章

作　　者：李建超[1] 苏俊宏[1] 徐均琪[1]

机构地区：[1]西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032

出　　处：《应用光学》

年　　份：2004

卷　　号：25

期　　号：5

起止页码：56-59

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：　由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得十分必要。本文采用椭偏法测量了类金刚石薄膜(DLC)的光学常数,分析并拟合了脉冲真空电弧离子技术镀制的类金刚石薄膜的椭偏光谱,获得了光学常数,并对拟合模型的合理性和测量结果的可靠性进行了分析。

关 键 词：类金刚石薄膜 光学常数 拟合模型  椭偏光谱 可靠性

分 类 号：O484.41]