文献类型：期刊文章

作　　者：任豪[1] 罗宇强[1] 李筱琳[1] 毕君[1]

机构地区：[1]广州市光机电工程研究开发中心,广州510635

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2004

卷　　号：24

期　　号：4

起止页码：289-292

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在电子束蒸发镀膜的基础上 ,引入低压反应离子镀工艺制备WO3 电致变色薄膜 ,研究不同氧分压对WO3 薄膜电致变色特性的影响 ,实验结果表明制备时选择工作气体氩气分压为 2× 10 -2 Pa,氧分压为 4× 10 -2 Pa时 ,薄膜具有最好的电致变色特性和最大的变色范围。进而采用低压反应离子镀工艺成功地实现在塑料基板上制备WO3 薄膜 ,并对其电致变色特性进行了研究。同时对比了采用普通电子束蒸发镀膜制备的WO3 薄膜的电致变色特性。

关 键 词：低压反应离子镀  电致变色 WO3薄膜 电子束蒸发 塑料基板 镀膜  氧分压 变色范围  氩气  实验结果  

分 类 号：TB383[材料类] TN27]