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薄膜光学常数的模拟退火算法研究
Research on Stimulated Annealing Algorithm of Film Optical Constant
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安工业学院,西安710032
年 份：2005
卷 号：3
期 号：1
起止页码：58-60
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方法(Very Fast Stimulated Annealing,VFSA)分析,针对性地在模型扰动及退火计划上存在的缺陷作了改进,提高了 VFSA 算法的计算稳健性。通过大量的拟合实践,验证了提出的改进模拟退火方法的有效性。
关 键 词：类金刚石薄膜 光学常数 模拟退火算法
分 类 号：O485.5]
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