期刊文章详细信息
气相外延生长单晶金刚石薄膜
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所,郑州450007
基 金：国家高技术发展计划新材料领域研究课题
年 份：1993
卷 号：23
期 号：9
起止页码：993-998
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD2011_2012、ZMATH、普通刊
摘 要：本文用氢气、丙酮做为气体源,通过微波增强的化学气相沉积方法,在人造金刚石的<100>,<111>及<110>晶面上实现了气相外延生长。通过扫描电子显微分析,观察到了外延生长台及螺旋线,并用显微激光Raman光谱法分析证明,生长层中不合非金刚石成分。反射电子衍射分析结果表明,在金刚石<100>,<110>面上的生长层为单晶生长层。从实验结果中还发现,外延生长温度与晶面原子密度密切相关。
关 键 词：金刚石 薄膜生长 气相外延生长
分 类 号：O484.1]
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