期刊文章详细信息
圆柱腔内微波等离子体激励的研究
Study on Microwave Plasma Excitation in a Cylindrical Cavity
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华东师范大学微波研究所,上海200062
基 金：国家自然科学基金(19971027;10271048)
年 份：2005
期 号：2
起止页码：52-57
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：根据谐振腔理论,证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模,并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况,改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合.
关 键 词：微波等离子体 圆柱腔 TM01p模 FD-TD数值方法
分 类 号：TN99]
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