文献类型：期刊文章

作　　者：彭鸿雁[1] 周传胜[1] 赵立新[2] 金曾孙[3] 张冰[1] 陈宝玲[1] 陈玉强[1] 李敏君[1]

机构地区：[1]牡丹江师范学院物理系,牡丹江157011 [2]牡丹江大学,牡丹江157011 [3]吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春130012

出　　处：《物理学报》

年　　份：2005

卷　　号：54

期　　号：9

起止页码：4294-4299

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005389375824)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000231569500060)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000231569500060)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜中的sp3键舍量及各项性能均有提高.

关 键 词：激光功率密度 类金刚石膜 性能  结构  RAMAN谱 高重复频率 结构和性能  电子衍射图  金刚石结构  sp^3键  

分 类 号：O484]