期刊文章详细信息
离子注入剂量的均匀性检测和校正
Control and Correct Uniformity of Implanting Dose
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京中科信电子装备有限公司,北京100036
年 份：2005
卷 号：42
期 号：10
起止页码：484-486
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法。
关 键 词：离子注入机 注入剂量 均匀性
分 类 号：TN405.3]
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