文献类型：期刊文章

作　　者：李龙奎[1] 苏俊宏[1] 徐均琪[1] 王笑丹[2]

机构地区：[1]西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032 [2]吉林大学生物与农业工程学院,吉林长春130022

出　　处：《应用光学》

年　　份：2005

卷　　号：26

期　　号：6

起止页码：35-37

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对非平衡磁控溅射镀膜机中线圈所产生的磁场分布进行了数值模拟。通过与实测值进行比较,验证了计算模型和计算结果的可靠性。总结了非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布情况,为优化镀制薄膜设计方案和提高薄膜质量提供了参考依据。

关 键 词：ANSYS软件 谐性磁场  有限元法

分 类 号：O441.4] TU375.1[物理学类]